奥林巴斯激光共焦显微镜采用了较佳光学系统，可通过非破坏观察法生成高画质的图像并进行3D测量。其准备操作也非常简单且无需对样本进行预先处理。
具有高精度和光学性能的LEXT?OLS5100激光扫描显微镜配备了让系统更加易于使用的智能工具。其能够快速完成亚微米级形貌和表面粗糙度的测量任务，既简化了工作流程又能让您获得可信赖的高质量数据。
LEXT? OLS5100 3D激光扫描显微镜
用于材料分析的激光显微镜
更智能的工作流程，更快速的实验设计
适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将测量精度和光学性能与智能工具相结合，让显微镜更加方便使用。通过快速JQ测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可获得可靠的高精度数据。
较高测量准确度*
奥林巴斯享誉世界的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌
智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量
奥林巴斯激光共聚焦显微镜型号：
★OLS5100-SAF
100毫米电动载物台
Z大样品高度：100 mm (3.9 in.)
★OLS5100-EAF
100毫米电动载物台
Z大样品高度：210 mm (8.3 in.)
★OLS5100-SMF
100毫米电动载物台
Z大样品高度：40 mm (1.6 in.)
★OLS5100-LAF
300毫米电动载物台
Z大样品高度：37 mm （1.5 in.）
LEXT?OLS5100激光共聚焦显微镜主机技术参数：
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型号 |
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100-LAF |
OLS5100-EAF |
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总倍率 |
54x–17,280x |
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视场 |
16 μm–5,120 μm |
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测量原理 |
光学系统 |
反射式共焦激光扫描激光显微镜 |
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光接收元件 |
激光：光电倍增管（2通道） |
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高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 nm |
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动态范围 |
16位 |
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重复性σn -1*1 *2 *5 |
5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm |
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准确度*1 *3 *5 |
0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]） |
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拼接图像准确度*1 *3 *5 |
10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm]) |
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测量噪声（Sq噪声）*1 *4 *5 |
1 nm（典型值） |
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宽度测量 |
显示分辨率 |
1 nm |
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重复性3σn-1 *1 *2 *5 |
5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm |
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准确度*1 *3 *5 |
测量值+/- 1.5% |
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拼接图像准确度*1 *3 *5 |
10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接长度[mm]） |
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单次测量时Z大测量点数量 |
4096 × 4096像素 |
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Z大测量点数量 |
3600万像素 |
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XY载物台配置 |
长度测量模块 |
? |
不适用 |
不适用 |
? |
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工作范围 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动 |
300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 |
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Z大样品高度 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
210 mm (8.3 in.) |
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激光光源 |
波长 |
405 nm |
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Z大输出 |
0.95 mW |
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激光等级 |
2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） |
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彩色光源 |
白光LED |
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电气功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
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质量 |
显微镜主体 |
约 31 kg |
约 32 kg |
约 50 kg |
约 43 kg |
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控制箱 |
约 12 kg |
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*1 在ISO554(1976)、JIS
Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20?C±1?C，湿度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。
